
主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
TOPCON拓普康 半導体表面検査装置 WM-10 重庆内藤销售
TOPCON拓普康 半導体表面検査装置 WM-10 重庆内藤销售
TEL:18375760285
QQ:1280713150
白先生
详情介绍:
产品概述
晶片表面检查装置WM-10对应6-8英寸或8到12英寸的晶片,它可以是裸露的(裸)粒子测定与48纳米的硅晶片的高灵敏度。装备有世界上第紫(蓝紫色半导体)激光器作为光源,一个拥有*佳的性能和在65〜90nm工艺节点压倒性性能价格比**模型。
产品功能
65〜90 nm工艺节点实现48 nm的*大检测灵敏度,适用于批量生产和原型设计
世界上**个大功率Violet-LD采用实现了运行成本的显着降低
业界*快的吞吐量
业界*小的小尺寸(12英寸兼容机)
通过安装2轴光学系统,可以实现微小划痕(微小缺陷)的缺陷分离
准备了各种选项,如自动灵敏度校正功能,COP分离,FOUP等
主要规格
► 光源 | 紫罗兰色LD(蓝紫色半导体激光) |
► 检测/扫描方法 | 散射光检测/螺旋扫描方法 |
► *大检测灵敏度 | 48纳米*裸晶片 |
► 重现性 | σ/X≤1%×99%以上 |
►进行检查 | 裸晶片,带电影的晶圆 |
► 相应的晶圆尺寸 | 12/8英寸,或8/6英寸 |
► 设备尺寸W×D×H | 1,482×1,173×1,950毫米 |
► 重量 | 900公斤 |
主要选项
■自动灵敏度校正功能 |
■雾度测量功能 |
■地图叠加功能 |
■双晶片端口 |
■4英寸晶圆转移 |
■XY坐标输出软件(通讯) |
■**通讯软件 |