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用于研发的辊式涂布机优选佐藤

日期：2025-10-31 20:39

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摘要：用于研发的辊式涂布机优选佐藤

用于研发的辊式涂布机优选佐藤

这是一款紧凑型高性能辊涂机，适用于研发，小批量生产。可提供等离子处理，溅射和气相沉积单元。

主要规格

抵达压力	×10 ^-5 Pa用于研发的辊式涂布机优选佐藤
真空表	BA表，电容压力计
工作规模	W 100 mm×L 200 m×t 50至100 um
进给速度	0.2至4米/分钟（CW / CCW可能）
真空罐	SUS304 W 500 x H 850 x D 450 mm
卷锥	φ250水冷式用于研发的辊式涂布机优选佐藤
轴封	使用磁力密封用于研发的辊式涂布机优选佐藤
成膜前的等离子处理	13.56 MHz RF电极×1公式
蒸发源	①高达70×200直流磁控管型× 2②电阻蒸发源
主泵	TMP 1100 L / s
湿气排出	CRYO超级陷阱
工艺气体	Ar，O ₂，N ₂，质量流量控制器使用
建筑面积	4平方米
效用	·AC 200V3φ100A·冷却水

用于研发的辊式涂布机优选佐藤

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