产品详情
  • 产品名称:日本COSMOS新宇宙半导体气体检测仪XPS-7Ⅱ

  • 产品型号:
  • 产品厂商:COSMOS新宇宙
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简单介绍:
检测对象:毒气/半导体材料气体 检测范围:根据规格而定 检测原理:定电位电解式 检测方式:泵吸引式 应用行业:石油化工、半导体制造
详情介绍:
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PRODUCT DETAILS

产品描述:只需更换传感器组件,即可检测各种半导体材料气体



01.产品特点

·  只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体

·  用盒式传感器单元无需进**体检测器校正

·  可以大幅度削减成本和维护时间


02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测


03.对象气体


型号 气体 满量程
XDS-7NH NH3 100ppm
XDS-7SH SiH4 25ppm
XDS-7DC SiH2Cl2 25ppm
XDS-7AH AsH3 250ppb
XDS-7PH PH3 1ppm
XDS-7BH B2H6 500ppb
XDS-7SE H2Se 250ppb
XDS-7GH GeH4 1ppm
XDS-7CL Cl2 5ppm
XDS-7CF ClF3 1ppm
XDS-7HC HCl 25ppm
XDS-7HF HF 10ppm
XDS-7HB HBr 10ppm
XDS-7NO NO 100ppm
XDS-7HS H2S 50ppm
XDS-7CO CO 250ppm
XDS-7DS Si2H6 25ppm
XDS-7F2 F2 5ppm
XDS-7OZ O3 1ppm
XDS-7SD SO2 10ppm
XDS-7ND NO2 10ppm
XDS-7NF NF3 100ppm



04.产品参数

XPS-7Ⅱ.jpg

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