产品详情
  • 产品名称:CKD工艺气体用减压阀元件内藤naitokikai有售

  • 产品型号:PGM
  • 产品厂商:CKD株式会社
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简单介绍:
CKD的工艺气体减压阀拥有位于行业前列的密封性能、滞后性和重复性。 通过供气的高精度压力/流量调整,实现稳定的工艺控制。 行业:半导体制造工序(前工序) 化学液体供给设备用元件 销售中心-重庆内藤naitokikai
详情介绍:

【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● *大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏(流出)

【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制

【减少迟滞】
**满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工

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