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  • 产品名称：日本HUGLE藤宫西南片区重庆代理销售

  • 产品型号：EUV POD全自动清洗系统SR-EUV（REN）
  • 产品厂商：HUGLE藤宫
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简单介绍：
新的曝光技术EUV曝光中使用的EUV POD全自动清洗设备。 内 POD 和外 POD 被拆卸/重新组装，每个 POD 在其自己的专用 CH 中清洁/干燥。 完全无人操作也是可能的。 作为半导体器件容器清洗设备制造商，30年来积累了清洗/干燥技术，实现了纳米级颗粒去除。 销售中心-重庆内藤
详情介绍：

产品概述

  • 小尺寸设计
  • **清洗技术的超精密清洗
  • 高效干燥方法实现完全干燥
  • 通过全自动 POD 开闭防止交叉污染
  • 与 RSP200 兼容
  • 内置机械手自清洁系统
  • 单独的专用腔室处理

规范

设备主体：1230（宽）x 2900（深）x 2300（高）毫米（不包括突起）

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