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  • 产品名称：日本HUGLE藤宫西南片区重庆代理销售

  • 产品型号：FOUP / FOSB全自动清洁系统UPC-12500（SORA）
  • 产品厂商：HUGLE藤宫
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简单介绍：
作为 300mm 晶圆 FOUP 的自动清洗系统，获得了世界**性能和信任的 UPC-12100 进行了改造。 它基于现代半导体制造所必需的高质量、高产量和节能的概念进行了改进。 它符合 CE 标准以及 SEMI 标准。 兼容自动运载系统（AMHS），通信协议兼容GEM300，适合在线管理。 请考虑世界上高标准的 FOUP 清洁设备。
详情介绍：

产品概述

  • 高吞吐量
  • 小尺寸设计
  • 节能措施
  • 通过全自动 FOUP 开闭防止交叉污染
  • 两流体喷射清洗方式的超精密清洗
  • 高效干燥方式
  • 兼容SEMI通信标准GEM300
  • 高交货记录
  • 符合 SEMI S2、S8 和 CE 标准

规范

主机：2200（宽）x 3250（深）x 2500（高）毫米（不包括突出部分）

*有关此设备的详细信息，请联系我们的总部或销售办事处。

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