产品详情
  • 产品名称:日本SIMCO中国(重庆代理)重庆内藤

  • 产品型号:扩展 ISO Class 1,10nm 兼容在线 N2 离子发生器型号 4214
  • 产品厂商:日本SIMCO
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简单介绍:
使用支持超低颗粒的单晶硅电极。 独特的清洁机制,不会向外部释放颗粒,确保长时间保持稳定的清洁度 采用无需任何调整的智能控制电路 内置传感器持续监测离子生成,实现可靠的静电消除。 集成紧凑型设计,内置控制器和电源 自动高压关闭功能可在低流量下保护产品 先进半导体制造工艺和其他超低颗粒应用的理想选择 24V 直流驱动
详情介绍:

扩展 ISO Class 1,10nm 兼容在线 N2 离子发生器型号 4214

按功能 [在线离子发生器]

即使在高纯度 N2 环境中,4214 型离子发生器也支持“扩展 ISO 等级 1,10nm”的高清洁度,并实现了出色的离子平衡。

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特征
  • 使用支持超低颗粒的单晶硅电极。
  • 独特的清洁机制,不会向外部释放颗粒,确保长时间保持稳定的清洁度
  • 采用无需任何调整的智能控制电路
  • 内置传感器持续监测离子生成,实现可靠的静电消除。
  • 集成紧凑型设计,内置控制器和电源
  • 自动高压关闭功能可在低流量下保护产品
  • 先进半导体制造工艺和其他超低颗粒应用的理想选择
  • 24V 直流驱动
 
规格
输入电压 24V DC +/- 5% 6W 典型值。
离子平衡 <+/- 25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接
静电消除时间 <10sec 150mm 距离 40LPM 无管道连接
+/- 1kv → +/- 100v 通过充电板监视器
离子发生法 电晕放电式高频交流方式
清洁度 ISO Class1,0.1 微米“扩展 ISO Class1,10nm”*
电极 单晶硅可更换
对应吹扫气体 N2> 99.998%
流量 40LPM (36.5Kpa) -90LPM (171kpa)
*大吹扫压力 207Kpa (= 100LPM 流量)
*高气体温度 60℃
N2 吹扫连接 世伟洛克 3/8" OD 管道
电离 N2 连接 1 / 4NPT 内螺纹接头或可选接头
28-25710-SC 用于世伟洛克 1/2"OD 管道连接
工作温度限制 15-60℃
信号输出 打开/关闭触点的警报和离子滴输出
尺寸 长 152.4mm x 宽 72.4mm x 深 32mm 不包括
管道
重量 640g
外部的 不锈钢
安装方法 背面 M5 螺丝 螺纹长度必须小于 10 毫米

关于扩展的 ISO 等级 1,10nm
? 这是 ION Systems **定义的清洁度定义,用于支持细颗粒管理。ISO14644-1 定义的*小粒径为 100 nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用与 ISO14644-1 相同的计算粒子允许数的公式,允许粒子数为 1200pc/m3(34 pc/ft3),粒径为 10nm 或更大。

 

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