产品详情
  • 产品名称:日本AITEC UV晶片固化装置(重庆内藤)

  • 产品型号:MUVBA-0.4×0.6×0.2
  • 产品厂商:AITEC艾泰克
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简单介绍:
●使用LED作为紫外线照射光源的切割胶带的紫外线固化装置 ●可以使用音量旋钮(0至100%)调节紫外线照射强度。 ●紫外线照射器的简单安装结构使其易于将紫外线照射器更改为其他波长。可更换 ●采用N2吹扫机制可减少氧气对紫外线固化的抑制 ●采用N2预吹扫机制可减少额外的紫外线照射时间 ●N2吹扫量可通过流量计的阀门控制 日本AITEC UV晶片固化装置(重庆内藤) 日本AITEC UV晶片固化装置(重庆内藤) 日本AITEC UV晶片固化装置(重庆内藤)
详情介绍:
晶圆紫外线照射器

紫外线固化装置硅片紫外线照射器

紧凑,低成本的晶圆紫外线辐射器,具有波长交换机制
 


也可以制造6英寸8英寸晶圆兼容的12英寸晶圆

特征

●使用LED作为
紫外线照射光源的切割胶带的紫外线固化装置●可以使用音量旋钮(0至100%)调节紫外线照射强度。●紫外线照射器
的简单安装结构使其易于将紫外线照射器更改为其他波长。可更换
●采用N2吹扫机制可减少氧气对紫外线固化的抑制
●采用N2预吹扫机制可减少额外的紫外线照射时间
●N2吹扫量可通过流量计的阀门控制
拉出并更换辐射器

应用实例


●背面研磨时晶片保护膜的
固化染色后紫外线固化染色带的固化
●研发,实验用途
●少量生产用途

各部分名称

UV-LED照射面UV-LED照射计时器LCD显示紧急停止按钮流量计调光面板POWER按钮联锁ON / OFF开关START按钮预吹扫计时器氮气供应端口(后部)

半导体制造工艺(后处理)

电路形成表面保护胶带粘贴背面抛光固定晶片的胶带背面保护胶带剥落安装拾取器UV照射晶片切割

外型尺寸

典型示例:MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

*请注意,由于产品改进,规格可能会有所变化。

数据代表示例

测量位置
晶圆辐照器测量数据
*所示图表仅供参考,并不保证产品的质量。

阵容清单

  • ...

    MUVBA-0.4×0.6×0.2

    辐射器类型 发射波长 氮气流量 车身尺寸W / D / H [mm] 输入电源电压[V]
    UV-LED表面照明器 可选365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL / min(流量可调) 350 x 600 x 190 AC100-240
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