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该系统有两种涡轮分子泵和油扩散泵,高真空排气系统,可根据客户需要选择制油旋转和干泵作为辅助泵。
涡轮分子泵排气系统
<TPS>型 ![]() |
油扩散泵排气系统
<DPS>型 ![]() |
特点
■它适用于高真空下的各种实验,开发和生产过程。
■风冷型无需水管,减轻了维护负担。
■100V电源,无法选择位置。
■采用铝材作为主框架底座,实现轻量化。
■紧凑的设计追求易用性。
涡轮分子泵排气系统<TPS>型
● 与MZ或涡旋式干式辅助泵结合,使排气系统达到全排水。
● 启动和停止所需的时间很短。
● 采用涡轮分子泵,结构坚固,可实现意外的空气引入。
(注意)反复故意引入空气可能会导致故障。
油扩散泵排气系统<DPS>型
● 可以以较低的成本获得高真空环境。
● 三通阀切换功能,仅允许辅助泵独立排气运行。
● 易于维护和检查。
<TPS>类型
输入表达式 | TPS-220ZC | TPS-50ZB | TPS-50ZC | TPS-220ZA | TPA-220ZB | TPS-220ZC |
---|---|---|---|---|---|---|
涡轮分子泵 | 50升/秒 | 220升/秒 | ||||
辅助泵 | DW-60 | USW-50N | MZ-2CNT | DW-120 | USW-100N | ISP-250C |
抵达压力 | ×10 -5 Pa * 1 | ×10 -3 Pa * 1 | ×10 -5 Pa * 1 | ×10 -4 Pa * 1 | ||
开始/停止时间 | 3 / 3min * 2 | 2.2 / 3.5分钟* 2 | ||||
进气口直径 | VG-65 | VG-100 | ||||
所需功率(AC) | 100 V 15 A. | |||||
块 | 大约51公斤 | 大约55公斤 | 大约45公斤 | 大约56公斤 | 大约59公斤 | 大约70公斤 |
外形尺寸 (宽×深×高mm) |
600×400×700 | 600×400×750 | 600×400×700 | 600×400×730 | 600×400×800 | 600×400×850 |
<DPS>类型
输入表达式 | DPS-2-ZA | DPS-2-ZB | DPS-3-ZA | DPS-3-ZB | DPS-4-ZA | DPS-4-ZB |
---|---|---|---|---|---|---|
油扩散泵 | 58升/秒 | 150升/秒 | 215升/秒 | |||
辅助泵 | DW-60 | USW-50N | DW-120 | USW-100N | DW-120 | USW-150N |
抵达压力 | ×10 -4 Pa * 3 | |||||
开始时间 | 17分钟* 2 | 22分钟* 2 | ||||
进气口直径 | VF-50 | VF-80 | VF-100 | |||
所需功率(AC) | 100 V 15 A. | 100 V 15 A×2 * 4 | ||||
块 | 大约57公斤 | 大约60公斤 | 大约68公斤 | 大约70公斤 | 大约70公斤 | 大约80公斤 |
外形尺寸 (宽×深×高mm) |
600×400×935 | 600×400×995 | 600×400×1095 | 600×400×1030 | 600×400×1130 |
* 2.启动时间是入口关闭时的值。时间取决于腔室容量。
* 3.它是进气口关闭时的值。
* 4.辅助泵和主泵有单独的电源插头(两个)。
*定制版本我们还可以根据规格和规格制造包含各种可选部件的定制版本。
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