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Himega可去除半导体和液晶所需的45 nm或更小的超细颗粒 - 清洗Si晶圆,GaAs等
- 清洗液晶玻璃
- 清洁玻璃面膜
- 清洁硬盘
- 清洁水晶单元
- 清洗薄膜磁头
- 清洁脆性材料等
- 其他超精密清洁
- 0.1 W可设置功率。实现高功率稳定性。**的输出控制,轻松实现无损伤清洁!(对应200 kHz或更高)
- 通过选择四种特殊振荡模式,可以实现比以往更高精度的**清洁。
- 可以在启动/关闭时设置速度。
- QUAVA系列与Himegasonic系列兼容,通过更换振荡器可以提高清洁性能。
- 它比前Himega 78101型小81%,重量也减少到17公斤并且称重!
- 尺寸为标准尺寸,可存放在19英寸机架中。
- 原则上,不需要对换能器进行更换(无匹配)。
- 由于电源是自由电源系统,因此不受工厂电源电压波动的影响。
- 由于它对应于10种频率,因此可以通过稍后更换换能器来改变频率。
- 一个大号的P.O. Z. T振动元件,没有清洁不均匀。
- 功率密度非常高,清洁能力**。(至大约5.4 W / cm 2)
- 它厚实,机械强度高,寿命长,安装在洗涤槽中是**的。
- 它效率很高,声学损失很小。
- 元素接缝很少,可以预期至佳的清洁效果。
- 材料可用于3种类型的SU 304,316和316L。
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- 商业化石英超声波浴,振动器直接粘附在石英槽上。与传统的双罐型相比,可以照射强大的超声波(超过我们公司的1.2倍)。这只是Kaijo的技术。
- 根据工作溶液温度,有两种类型的对应关系:常温(至高50°C)和高温(至高80°C)。
- 我们还将生产不锈钢罐。
这是一台高频洗衣机,展示了其在超精密清洁方面的强大功能。它可用于去除超细颗粒,如半导体晶片,液晶和HDD。高频(750 kHz,950 kHz)的超声波清洗主要在加速时进行清洗。因此,很少产生空化。它有效地解决了由空化腐蚀(损坏)和驻波引起的清洁不规则性。
使用
振荡器的特性
※注意:额定输出为26 kHz,38 kHz为600 W.
振荡器规格
项目
规范
额定输出
1200 W *
振荡频率
26 kHz / 38 kHz / 78 kHz / 100 kHz / 130 kHz / 160 kHz / 200 kHz / 430 kHz / 750 kHz / 950 kHz
(通过选择换能器进行更改)
振荡模式
PLL振荡/固定振荡/ A模式振荡/ B模式振荡
电源
电流
10 A.
电压
AC 200 V至240 V(±10%1Φ50/ 60 Hz)
外部尺寸
430(宽)x 418(长)x 148(高)
重量
17公斤
主要功能
远程模式
8步输出
RS485通讯
输出端子异常
模拟输出(监控输出)
0至5 V(标准设置)或4至20 mA(出厂时可切换)
隔膜功能
隔膜规格
规范
晶圆6
膜片规格
晶圆8
隔膜规格
晶圆12
膜片规格
型号名称
型号7857S
型号8857S
98SL型
允许输入
300 W x 4
300 W x 6
300 W x 16
频率
950 kHz
950 kHz
750 kHz
振动辐射面(mm)
136×163
165 x 215
275 x 319
隔膜材料
SU 316 L
SU 316 L
SU 316 L
振动的身体
PZT
PZT
PZT
至高使用温度
70°C
70°C
70°C
外形尺寸
(宽x深x高mm)
185 x 215 x 55
255×305×55
410 x 340 x 65
安装方法
螺栓固定
螺栓固定
螺栓固定
清洗槽功能