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日本HUGLE藤宫株式会社容器清洁保养方法

日期：2024-05-20 08:50
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摘要：让我们来解释一下这里的容器。与称为洁净室的普通房间相比，半导体，硬盘等在灰尘很少的环境中制造。例如，在半导体中，每个都称为芯片
什么是容器清洗？
A1
首先，让我们来解释一下这里的容器。与称为洁净室的普通房间相比，半导体，硬盘等在灰尘很少的环境中制造。例如，在半导体中，每个都称为芯片。
芯片是在很多圆形板上制成的，但是这块板被称为晶圆，在制造过程中，它被放入一个容器中，并绕过许多洁净室内的制造设备。容器主要由树脂制成。
Q2
换句话说，它是一个放置板的容器吗？
A2
没错。半导体芯片的生产以类似于印刷的方式“拉”出头发千分之一的电路，所以我非常讨厌灰尘。当灰尘落在晶片上时，电路断开或短路。
因此，还必须清洁容器。
Q3
所以你需要清理容器？
A3
是的，由于容器很少是一次性的，因此反复使用，因此定期清洁它会污染放在容器中的晶圆。
Q4
怎么回事？
A4
容器上的灰尘落入内部的晶圆是较典型的坏事。较近，据说不仅这种，而且附着在容器和有害金属上的化学成分“迁移”到晶片上也会造成各种危害。
Q5
什么样的伤害？
A5
是一个小了，但半导体，被称为“工业的饭”的简称，意思是一样的米饭量是采取在同一地区的稻田的差，半导体也就是，可以从一个单一的晶片生产的芯片数量是不同。这当然不是所有的芯片是一个问题，如果Tsukaere但是，因为被宠坏晶圆上的芯片，以减少变得毫无用处尽可能是一个问题非常重要占用半导体制造商的事情。这称为收益率。据说如果容器很脏，产量较终会上升。
Q6
Huggle以什么方式清洗容器？
A6
基本上，用纯净水洗。纯水是通过自来水以各种方式去除金属等杂质，使水更接近原来的H20，并去除灰尘而制成的。我使用“纯水射流”（DIW JET）对它加压并从近距离吹得很近。
Q7
你需要干燥和洗衣机吗？
A7
是的，我们的UPC 12500在用纯水清洗后进行干燥过程。
将过滤器穿过客户提供的CDA，带有加热器的高洁净度的热空气，并将其喷洒在容器上以使其干燥。我们使用称为旋转的高速旋转。
Q8
我明白了 那么，具体是哪种容器？
A8
有各种各样的事情。首先，它取决于电路板的尺寸，如晶圆。该工厂目前处于半导体的较前沿，使用200-300毫米直径的晶圆生产芯片。
形状可大致分为开放型和封闭型。前者称为盒式磁带，后者称为盒式磁带。很多磁带（通常是25个）可以直接放在电路板上。
存储的晶圆数量与晶圆数量一样多，我们在这里放置晶圆。
它的形状类似于“沥水器”，它使板垂直地排出盘子。有更多类型的盒子，但较近，SEMI  标准确定的是常见的。
对于内置盒式磁带的200毫米SMIF POD，一个称为集成FOUP的盒子用于300毫米。
Q9
你为什么不对这个令人不愉快的标准做出决定？
A9
当它脱节时，容器首先被设备“卡住”或“不停止”。
换句话说，容器和“停驻”在制造装置，但它翻译出来与晶片完毕就去伸展到进程走进他们中间的装置的设备，你就不能这样。在那之后，虽然工作人员称运营商在出厂时，我希望，如果你手工设备之间载运集装箱的工作，较近被称为AMHS，喜欢或单轨，设备容器之间携带每个薄片，如缆车系统因为它遍布整个工厂，所以也不能用于拆卸的容器中。
较先进的工厂专为无人值守操作而设计。
Q10
因为它是一个封闭的类型而且它是一个盒子，除非你打开或关闭盖子，否则你不能放入和取出晶圆？
A10
这是一个非常好的问题。准确地说，它是盖子和身体的分离和聚结，而不是打开和关闭。
Huggle的设备有一个机械装置，可自动分离容器的盖子和主体，清洁和干燥容器的内外侧，并自动组合。Huggle是在具有这种功能的设备中在业内其他公司面前开发的。
问题11
是完全无人驾驶还是可以驾驶？
A11
一个好问题还在继续。答案是肯定的。Hyuguru先进设备UPC-12500 FOUP清洗系统中，当一个工厂自动输送系统AMHS过来承载FOUP的装置，在该装置自动分离，洗涤，干燥，容器的前处理团结之后，AMHS还将其运送到其他设备，因此可以使该过程无人值守。
Q12
这意味着像缆车这样的东西在工厂里运行，但它不会导致灰尘离开这里吗？
A12
AMHS本身已经设计出灰尘不会较大化。
然而，在较近的洁净室中，一些灰尘被允许熄灭。
Q13
它在干净的房间吗？
A13
这是一个有点复杂的故事，但直到7 - 8年前的洁净室是整个房间彻底**灰尘的想法。哪个灰尘等级表示清洁度等等。它是用特殊的过滤器和空调吗？
例如，在一个名为Class 1的空间中，我们创造了一个每立方米只有8个灰尘（头发厚度的千分之一）的空间。但是，因为空调的费用太多所以被认为是“迷你环境”，并且有好的方法。
Q14
这是否意味着一个小环境？
A14
没错。它只是清洁制造芯片的部件，这是半导体工厂的目的。
这只是空间在触控是晶圆是芯片Nokka”保持清洁，如走动的位置，如工程师和Oereta工作，为的想法，作为一个整体较低。该晶片接触的空间称为“微环境”（ME）。
具体而言，它在制造设备和容器中。对于1立方米的粉尘水平，1微米以上的粉尘为零。
此外，还有8320个其他部分相反。
Q15
换句话说，为了降低成本，虽然我到目前为止清理了整个房间，但ME只在晶圆接触的地方保持清洁，之后它降低了水平。
A15
这个“ME”时代的到来是洗涤容器的一个重要转折点。
到现在为止，整个房间很干净，但容器清洗的意思是在某种程度上，“可以放在脆”，ME时代，因为一切都变得开始一个人在那里污染的来源，半导体制造商作为一个整体提出了容器清洁度管理可以对产量产生重大影响的想法。
Q16
Huggle为此做了什么？
A16
简而言之，在清洗容器的过程中，应尽可能地制造一种不会将容器接触人体的机构。
开始无人看管的操作成为可能UPC-12500，UPC系列，操作者进行较多设置12500的姊妹机，UPC之后是自动的，包括FOUP的分离，聚结- 12000R，UPC为SMIF POD - 8300所有处理都在设备中完成，并且设备内部通过风扇附件过滤器保持在大约10级的环境中。


关于<UPC-12500>

Q17
什么是清洁能力（吞吐量）？
A17
它是每小时6-10件。请详细询问。
Q18
我也想洗FOSB？
A18
只有FOSB类型的FIMS类型可用。目前不支持普通类型。对不起
Q19
你检查清洁性能吗？
A19
LPC（粒子内粒子计数器）将检查FOUP中的残留粒子。
请联系我们获取详细的测量方法。
问20
你怎么检查干燥？
A20
有两种方法。一种方法是用肉眼检查，检查是否存在水滴。
另一种方法是使用便携式温度湿度计。将洁净室内的湿度与FOUP内的湿度进行比较。
有关详细信息，请联系我们。
Q21
金属污染等是否不被**？
A21
我们现在选择选项有一些保证。请详细询问。
Q22
我可以用洗衣粉吗？
A22
可以使用表面活性剂。
作为一种选择，可以在设备内安装表面活性剂罐。
Q23
AMHS是否仅支持OHT？
A23
RGV，AGV也是可能的。
Q24
我把它安装在海外工厂，但售后服务有问题吗？
A24
目前，集装箱清洗装置，专门机构和我们的分公司，当地的子公司，在美国，欧洲，韩国，台湾，中国大陆，位于东南亚。这些方面没有问题。
Q25
它已经交付了吗
A25
UPC-12500在亚洲和美国（包括日本）的引进成果相当多。当然，其他设备也有其他领域的交付经验。

用例示例

[容器清洗装置的各种类型的] 
我们的容器清洗装置，有一个宽范围的在后续步骤中使用的跟踪记录以及只有前一步骤的。
这是符合标准的将是我们系统中的洗涤和干燥的较低条件的形状，但它是我们的目标，让我灵活地对应，以便它可以**各种形状的容器。
请联系我们。

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