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光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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新闻详情
晶片工具制造商日本Fluoro福乐推出新品——非接触式晶圆传输伯努利卡盘
日期:2024-04-28 18:48
浏览次数:220
摘要:非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列(导电)主体可选择20度、45度、90度,水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。
(使用角度是固定的,不改变主体就无法改变使用角度。)
由于导向挡块具有平缓的锥度,因此晶片的边缘会在一点处接触。
由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸附状态。
主体采用导电尼龙树脂,实现了轻量化。
它可以处理双面印刷有图案的晶圆,以及难以处理的薄至 50μm 的晶圆。
我们还支持与目标对象相匹配的定制设计产品,例如方形。
伯努利查克利用伯努利原理,通过喷出空气,产生更强大的吸力。输送物与伯努卡盘的表面端点接触,不旋转,并且可以在非接触状态下以稳定的保持力输送晶片中心。为了用一个本体部对应各晶片尺寸而设计。
导向制动器和晶片点接触
引导环白色销将晶片放置在4个位置的内侧,然后按下启动按钮,晶片将悬浮并靠近中心。然后,用黑角销固定,可进行非接触式输送。
●持手的使用角度20度,45度,从90度的3点主体部能选择。(使用角度为固定角度,使用角度的改变只有通过改变机身部分才能改变)
●导轨制动器有一个平缓的锥度,因此晶圆边缘点接触。
●抗静电聚碳酸酯使用的引导环,通过目视的定位和吸力状态的确认能。
●由于主体部导电性尼龙树脂的采用谋求了轻量化。
●双面都有图案印刷,50 μ m的薄能对应处理困难的晶圆。
●也对应为角型等对象物量身定做的设计品。
●开关可以选择按钮或拉杆。
产品简介
◆请从使用角度20度,45度,90度的3点选择主体部。(见下文图片)
日本福乐Fluoro重庆销售中心-重庆内藤naitokikai