产品详情
  • 产品名称:FLUORO福乐 晶圆搬运真空镊子C系列C002

  • 产品型号:
  • 产品厂商:FLUORO福乐
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简单介绍:
自1981年获得开关阀**并开发并商业化与半导体兼容的真空镊子以来,我们的真空镊子不断发展并扩大市场。我们的真空镊子的特点是用途广泛,从硅晶圆到小物体。由于我们在内部进行所有开发、制造和销售,因此我们能够掌握客户需求并不断收到客户的新产品开发提示。 近年来,对易碎、超薄晶圆运输技术的需求不断增加,新的芯片产品也相继被开发出来。其中,“多孔芯片”*适合运输化合物半导体和太阳能电池晶片。 内藤优势供应福乐FLUORO全系列产品。
详情介绍:

真空镊子C系列(导电型)特点

提高晶圆加工的作业效率
  • 真空镊子主体采用碳纤维填充尼龙树脂(交易卡)制成,具有优异的物理性能和导电性。此外,内部阀门部分采用氟树脂,周围结构采用特殊成型方法覆盖碳纤维,不会损害气密性。因此,与传统的F系列一样,该阀门可以轻松打开和关闭。(已获得**)
  • 连接到主机后部的尼龙连接器由比电阻值10的6次方±2控制。
  • 吸附头采用碳纤维和纳米碳管的导电PEEK树脂材料制成,具有优异的耐化学性、耐热性和韧性,经过机械加工、热处理和镜面精加工,确保长期使用时稳定保持性能。
  • 吸附芯片有多种尺寸,并且可以从多种尺寸中进行选择以适应每种晶圆尺寸。

真空镊子C系列(导电)5英寸晶圆设置示例

用于输送 5 英寸晶圆的镊子      
代码号 姓名 材料
尺寸(毫米)
时间
L1
L2
直径
64

3至5英寸导电多孔芯片(*注)

导电聚醚醚酮

2.7

16

26

82

0.8

90

5英寸导电Y型**

导电聚醚醚酮

2.7

16

26

82

 
94

4英寸导电X/Z型**

导电聚醚醚酮

2.6

21

30

 
95

5英寸导电X/Z型**

导电聚醚醚酮

2.7

15

27

37

 
搬运5英寸晶圆的镊子示意图
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