| VP9000（标准机） | VP9000（高速机） | |
| 检查方式 | 相位偏移法 | |
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| 基板尺寸 |
(M)50mm×50mm～330mm×250mm (L)50mm×50mm～510mm×460mm |
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| 基板厚度 | 0.3～5.0mm | |
| 投影方向 | 双投影机 | 单投影机 |
| 检查分辨率 |
[ 标准 / 高分辨率 / 超高分辨率 ] ①[25μm/12.5μm/8.5μm]、②[20μm/10μm/5μm]、③[15μm/7.5μm/5μm] |
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速度 （mm2/sec） |
① ② ③ 标：8,900 5,700 3,200 高：5,600 3,500 1,900 超：1,900 1,200 650 |
① ② ③ 标：9,400 6,000 3,300 高：6,000 3,700 2,000 超：2,000 1,300 700 |
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精度 体积 (3σ）*1 |
2％以内 | 3％以内 |
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板弯 追踪范围 |
±5mm | |
| 外形 |
(M)724×970×1,500mm (L)904×1,180×1,600mm |
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| 电源 | 单相 AC200～230V 50/60Hz MAX 1KVA | |
| 压缩空气 | 不要 | |
| 重量 |
(M) 约460kg (L) 约550kg |
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| ＵＰＳ | UPS:不间断电源 标准配置（仅用于PC） | |
| 环境对应 | RoHS | |
| 选项 |
数据站VPDS（*多可连接6台）、电源电压变更、红胶检查、 ePM软件、进板导轨、出板导轨、1D/2D条码读取功能、CE対底（仅用于L机）、 键盘桌、贴片数据、超细微分辨率对应、前后工序机联合功能 |
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*使用本公司样品基板
