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  • 产品名称：日本FLUORO福乐无油真空泵 重庆代理

  • 产品型号：
  • 产品厂商：FLUORO福乐
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简单介绍：
Fluoro Mechanic 为一**的处理半导体晶片工具的制造厂商，所生产的工具包括处理晶片用的真空吸笔(真空镊子,晶圆吸笔)、晶圆夹(硅片夹,晶圆镊子,晶片镊子)、无油隔膜式真空泵、真空管线和抗静电晶圆吸笔、晶片夹及12寸用晶片处理工具亦供应中
详情介绍：
FV-30
内附HEPA虑心的无油真空泵:无油适合无尘室使用。HEPA虑心可阻挡99.97%的大于0.3um的微颗粒子。
FV-60
内附HEPA虑心的无油真空泵:吸气口及排气口均内附虑心。请不要让真空泵吸入灰尘或液体。
  • 吸气口及排气口均内附虑心*
  • 虑窗口**
  • 无油适合无尘室使用
  • 长期高稳定性
  • 设计减少噪音的产生
  • 外壳有静电防护
  • 小巧设计方便携带
  • 抗静电真空管线 (配件)
  • 静电消散的接地装置 (配件)
  • 用于真空泵内附HEPA虑心 (零件更换)
  • 符合CE 国际标准规范
**HEPA虑心可阻挡99.97%的大于0.3um的微颗粒子
**让你知道何时该更换HEPA虑心

Specifications

形式 FV-30-110 FV-60-110
气流量 2.5 l/min (0.088 cfm) 2.5 l/min (0.088 cfm)
**压力 -300 mmHg (-40 kPa) -600 mmHg (-80 kPa)
电源需求 100-120 VAC 100-120 VAC
输出功率 5.0 W 10.0 W
尺寸大小(D x W x H) 137 x 88 x 85 mm 137 x 88 x 133 mm
重量 800 g 1250 g
运转模式 持续的 持续的
保用时数 > 8760 时数 > 8760 时数
晶片尺寸 大至6寸 8寸及12寸

亦供应240V (FV-30-240, FV-60-240)

产品规格变更不另行通知

请不要让真空泵吸入灰尘或液体


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