产品详情
  • 产品名称:日本AITEC艾泰克UV光源西南重庆代理

  • 产品型号:UV固化装置Wafer UV照射装置
  • 产品厂商:AITEC 艾泰克
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简单介绍:
具有波长交换机制的紧凑型低成本晶片 UV 辐照器 销售中心:重庆内藤naitokikai
详情介绍:

特征

● 以LED为UV照射光源的切割胶带UV固化装置
● UV照射强度可通过音量旋钮调节(0~100%)
● UV照射装置安装结构简单,可轻松设置为其他波长UV照射装置的可更换性
● 采用N2吹扫机构,降低了UV固化的氧抑制。
● 采用N2预吹扫机构,减少了不必要的UV照射时间。
● N2吹扫量可通过流量计阀控制。
拉出更换辐照器

应用实例


● 硅片背磨保护膜固化
● UV固化切割胶带切割后固化
● 研发和实验应用
● 小批量生产应用

各部分名称

UV-LED 照射面 UV-LED 照射定时器 LCD 显示屏 紧急停止按钮 流量计 光控面板 POWER 按钮 联锁 ON/OFF 开关 START 按钮 预吹扫定时器 氮气供应端口(后部)

半导体制程(后制程)

电路形成面保护胶带的粘贴 背面研磨用粘贴胶带 晶圆固定 背面保护 胶带去除 贴装拾取器 紫外线照射 晶圆切割 Harness

方面

代表例:MUVBA-0.4×0.6×0.2

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

*请注意,规格可能因产品改进而更改。

数据代表示例

测量位置

晶圆辐照器测量数据

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