产品详情
  • 产品名称:日本AITEC艾泰克紫外辐照器重庆代理naitokikai

  • 产品型号:UV固化装置
  • 产品厂商:AITEC 艾泰克
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简单介绍:
晶圆紫外线照射器 UV固化装置 Wafer UV irradiator 紧凑、低成本的晶圆紫外辐照器,具有波长交换机制
详情介绍:

特征

● 使用LED作为
UV照射光源的切割胶带UV固化装置 ● UV照射强度可通过音量旋钮调节(0至100%)
● UV照射器安装结构简单,可轻松更换UV辐照器至其他波长 可更换
● 采用 N2 吹扫机构,减少 UV 固化的氧气抑制● 采用 N2 预吹扫机构
,减少额外的 UV 照射时间
● N2 吹扫量可通过流量计阀门控制
拉出并更换辐照器

应用示例


● 背磨时晶圆保护膜的固化 ●
切割后UV固化切割胶带的固化
● 研发、实验使用
● 小量生产使用

各部分名称

UV-LED 照射面 UV-LED 照射定时器 液晶显示器 紧急停止按钮 流量计 调光面板 POWER 按钮 联锁 ON/OFF 开关 START 按钮 预吹扫定时器 氮气供给口(背面)

半导体制造工序(后工序)

电路形成 正面保护胶带粘贴 背面抛光 用于晶片固定的胶带粘贴 背面保护胶带剥离安装拾取器 UV照射 晶片切割 Har

方面

典型示例:MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

* 请注意,规格可能会因产品改进而发生变化。

数据代表示例

测量位置
晶圆辐照器测量数据
* 所示图表为参考示例,不保证产品质量。

阵容列表

  • MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

    MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

    辐照器类型 发射波长 N2气体流量 机身尺寸 W / D / H [mm] 输入电源电压 [V]
    UV-LED 表面辐照器 可选择 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min(流量可调) 350 x 600 x 190 AC100-240
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