
主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
使用支持超低颗粒的单晶硅电极。
独特的清洁机制,不会向外部释放颗粒,确保长时间保持稳定的清洁度
采用无需任何调整的智能控制电路
内置传感器持续监测离子生成,实现可靠的静电消除。
集成紧凑型设计,内置控制器和电源
自动高压关闭功能可在低流量下保护产品
先进半导体制造工艺和其他超低颗粒应用的理想选择
24V 直流驱动
详情介绍:
扩展 ISO Class 1,10nm 兼容在线 N2 离子发生器型号 4214
按功能 [在线离子发生器]
即使在高纯度 N2 环境中,4214 型离子发生器也支持“扩展 ISO 等级 1,10nm”的高清洁度,并实现了出色的离子平衡。


特征
- 使用支持超低颗粒的单晶硅电极。
- 独特的清洁机制,不会向外部释放颗粒,确保长时间保持稳定的清洁度
- 采用无需任何调整的智能控制电路
- 内置传感器持续监测离子生成,实现可靠的静电消除。
- 集成紧凑型设计,内置控制器和电源
- 自动高压关闭功能可在低流量下保护产品
- 先进半导体制造工艺和其他超低颗粒应用的理想选择
- 24V 直流驱动
规格
输入电压 | 24V DC +/- 5% 6W 典型值。 |
---|---|
离子平衡 | <+/- 25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接 |
静电消除时间 |
<10sec 150mm 距离 40LPM 无管道连接 +/- 1kv → +/- 100v 通过充电板监视器 |
离子发生法 | 电晕放电式高频交流方式 |
清洁度 | ISO Class1,0.1 微米“扩展 ISO Class1,10nm”* |
电极 | 单晶硅可更换 |
对应吹扫气体 | N2> 99.998% |
流量 | 40LPM (36.5Kpa) -90LPM (171kpa) |
*大吹扫压力 | 207Kpa (= 100LPM 流量) |
*高气体温度 | 60℃ |
N2 吹扫连接 | 世伟洛克 3/8" OD 管道 |
电离 N2 连接 |
1 / 4NPT 内螺纹接头或可选接头 28-25710-SC 用于世伟洛克 1/2"OD 管道连接 |
工作温度限制 | 15-60℃ |
信号输出 | 打开/关闭触点的警报和离子滴输出 |
尺寸 |
长 152.4mm x 宽 72.4mm x 深 32mm 不包括 管道 |
重量 | 640g |
外部的 | 不锈钢 |
安装方法 | 背面 M5 螺丝 螺纹长度必须小于 10 毫米 |
关于扩展的 ISO 等级 1,10nm
? 这是 ION Systems **定义的清洁度定义,用于支持细颗粒管理。ISO14644-1 定义的*小粒径为 100 nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用与 ISO14644-1 相同的计算粒子允许数的公式,允许粒子数为 1200pc/m3(34 pc/ft3),粒径为 10nm 或更大。