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特点
实现了高分辨率和稳定的超精密长度测量。高精度·开放式激光刻度,内置原点
- 信号波长:138nm
- 内置高精度原点精度:±0.1μm
- 刻度有效长度:9种型号,160至960 mm
-
类似于激光光波干涉仪的高精度,高分辨率
- 精度:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp-p(L <460 mm)
- L:有效长度(mm)
- 易于处理和可靠性与magnescale(安装和调整)相当
- 对气流和压力变化稳定
- 蓝色玻璃板使用:8×10 -6 /°C(有效长度:160至960 mm)
- 主要应用:半导体制造设备,检测设备,精密加工设备,精密测量设备·试验机等
规格
主要规格 | ||
---|---|---|
半导体激光器用于激光刻度。由于激光对人体有害,请不要查看检测头部分。 描述内容如有更改,恕不另行通知。 |
||
有效长度:L(mm) | 160/260/360/460/560/660/760/860/960 | |
比例总长度 | 有效长度+ 36毫米 | |
*大可移动长度 | 有效长度+ 10毫米(每侧5毫米) | |
精度(20°C时) | L <460:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp - pL≥460:3μmp - p L:有效长度(mm) | |
光栅间距 | 约0.55μm | |
信号波长 | 约0.138μm(约138 nm) | |
原点精度 | ±0.1μm | |
原点位置 | 从中心到中心,每个50毫米左右 | |
原点检测方向 | 一种方式 | |
返回错误 | 原则上没有。 | |
重复性 | 原则上没有。 | |
温度膨胀系数 | 8×10 -6 /°C | |
光源 | 半导体激光波长790 nm输出6 mW | |
辐射功率 | DHHS 1级 | |
检测方法 | 衍射光栅扫描类型 | |
工作温度范围 | 10℃~30℃(非冷凝) | |
储存温度范围 | -10°C至50°C(温度60%或更低) | |
*大响应速度 | 400 mm / s(连接BD 96时) |
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