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这是一种管式炉高温热CVD系统,适用于在大学和研究机构用石墨烯等烃类化合物开发各种材料。小型和小型测试件尺寸减小,因此可以通过简单的操作制造,同时实现了大大降低成本。
另外,它具有5至100Pa的压力控制功能,由于困难而在过去被认为是困难的,使得可以处理更多种处理模式。对于易燃碳氢化合物易燃气体,我们通过报警检测设备停止,**装置,如常压释放气体稀释装置。
主要规格
炉芯管 | 透明石英管(加热温度100~1000℃) |
---|---|
氧化铝管(加热温度1000~1400℃) | |
反应气体供应 | 2至60 sccm(氢气,甲烷,乙烷,丙烯,乙炔,苯等) |
压力控制 | 5至100 Pa |
释放空气中气体的措施 | 用喷射器在可燃混合范围以下用空气稀释排气 |
设备配置
模型 | SFCV-1003 | SFCV-1003 | SFCV-1501 | ||
---|---|---|---|---|---|
管式炉 | 炉芯管 | 材料 | 透明石英管 | 氧化铝管 | |
内径 | φ24mm,φ50mm | φ24毫米 | |||
加热温度 | 经常使用 | 100至1000°C | 500~1400℃ | ||
马克斯 | 1150℃ | 1500℃ | |||
加热区 | 1区 | 3个区域 | 1区 | ||
加热器容量 | 1.0千瓦 | 2.4千瓦 | 1.2千瓦 | ||
抽真空 | 油旋转真空泵 | 排气速度:100至150升/分钟 | |||
供气 | 质量流量控制器 | 流速:10至100 sccm | |||
气管式流量计 | |||||
气体稀释 | 空气喷射器 | 空气流速:15Nl / min | |||
真空表 | 压力控制 | 电容压力计:0.133至1330Pa,100Pa至133kPa | |||
大气压恢复 | 数字耦合计:-100 kPa至+100 kPa | ||||
控制 | 温度控制 | 程序控制 | |||
压力控制 | 阀门开/关控制 | ||||
操作面板 |
各设备开关,程序温度控制器,真空计 指示器:温度,真空度,操作设备ON / OFF,报警,电源 |
||||
电源 | 单相 | 100 V·30 A. | 100 V·50 A. | 200 V·20 A. | |
外部尺寸 | W×D×H | 1450×500×1200毫米 | |||
块 | 125公斤 | 134公斤 | 128公斤 |
系统图

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