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我们公司提供各种适合客户应用的真空炉,具有广泛的经验和技术。
水平内部热型VHF-I-H![]() |
垂直内部热型VHF - Ⅰ - V.![]() |
水平外热式VHF-EH![]() |
真空炉的类型和结构
加热器材料,温度控制传感器,容器结构和材料根据在真空环境下待加热设备的温度范围而不同。
按类型分类
I型内部加热·碳 | II型内部加热,金属等 | III型外热 | |
---|---|---|---|
模型 | VHF-I(M) | VHF-I(M) | VHF-E |
加热温度范围 |
超高温,高温(1),高温(2) 700~2300℃ |
超高温,高温(1) 1000~2300℃ |
高温(1),高温(2) 700~1600℃ |
加热器材料 | 硬碳 |
金属加热器 (钨,钼,碳化硅) |
金属加热器 (Kanthal线·碳化硅) |
容器材料 |
不锈钢:SUS 304 (带水冷套) |
不锈钢:SUS 304 (带水冷套) |
炉芯管材料: 氧化铝管(~1600°C) 石英玻璃管(~1200°C) |
结构 |
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温度区域和成分
分类 | 加热温度 | 控制传感器 | 加热器材料(加热方式) |
---|---|---|---|
超高温 | 1400至2300℃ | 辐射温度计 | 碳加热器,金属加热器(W,Mo)* 1 |
高温(1) | 1000~1500℃ | Platinum-Roseme热电偶(S型,R型,B型) | 碳加热器,金属加热器(Mo,SiC)* 1 |
高温(2) | 700-1100℃ | Chromeru alumel热电偶(K型) | Kantar电线加热器 |
※1)Mo:钼W:钨SiC:碳化硅
冷却
真空炉排气系统
压力面积(真空度)和真空泵
压力(Pa)* | 真空泵 |
---|---|
气氛~3.0 | 油旋转泵 |
气氛~10 | 干泵 |
1000到0.4 | 机械增压器+油旋转泵 |
3至1×10 -3 | 油扩散泵+油旋转泵 |
200至2×10 -5 | 涡轮分子泵+干泵或涡轮分子泵+油旋转泵 |
40到10 -7 | 低温泵+干泵或低温泵+油旋转泵 |
*)压力(真空度)是容器内的压力,它高于真空泵吸入口压力,管道阻力和容器内气体产生的影响。
驾驶操作
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