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 Himega可去除半导体和液晶所需的45 nm或更小的超细颗粒
- 清洗Si晶圆,GaAs等
- 清洗液晶玻璃
- 清洁玻璃面膜
- 清洁硬盘
- 清洁水晶单元
- 清洗薄膜磁头
- 清洁脆性材料等
- 其他超精密清洁
- 0.1 W可设置功率。实现高功率稳定性。**的输出控制,轻松实现无损伤清洁!(对应200 kHz或更高)
- 通过选择四种特殊振荡模式,可以实现比以往更高精度的**清洁。
- 可以在启动/关闭时设置速度。
- QUAVA系列与Himegasonic系列兼容,通过更换振荡器可以提高清洁性能。
- 它比前Himega 78101型小81%,重量也减少到17公斤并且称重!
- 尺寸为标准尺寸,可存放在19英寸机架中。
- 原则上,不需要对换能器进行更换(无匹配)。
- 由于电源是自由电源系统,因此不受工厂电源电压波动的影响。
- 由于它对应于10种频率,因此可以通过稍后更换换能器来改变频率。
- 一个大号的P.O. Z. T振动元件,没有清洁不均匀。
- 功率密度非常高,清洁能力**。(至大约5.4 W / cm 2)
- 它厚实,机械强度高,寿命长,安装在洗涤槽中是**的。
- 它效率很高,声学损失很小。
- 元素接缝很少,可以预期至佳的清洁效果。
- 材料可用于3种类型的SU 304,316和316L。
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- 商业化石英超声波浴,振动器直接粘附在石英槽上。与传统的双罐型相比,可以照射强大的超声波(超过我们公司的1.2倍)。这只是Kaijo的技术。
- 根据工作溶液温度,有两种类型的对应关系:常温(至高50°C)和高温(至高80°C)。
- 我们还将生产不锈钢罐。
这是一台高频洗衣机,展示了其在超精密清洁方面的强大功能。它可用于去除超细颗粒,如半导体晶片,液晶和HDD。高频(750 kHz,950 kHz)的超声波清洗主要在加速时进行清洗。因此,很少产生空化。它有效地解决了由空化腐蚀(损坏)和驻波引起的清洁不规则性。
			
		
			
		
			
			 
				
				使用
			
			
					
				振荡器的特性
			
			
					
					
					 
							※注意:额定输出为26 kHz,38 kHz为600 W.
						 
							
						振荡器规格
					
					
								
									
						
										 
									
											项目
										 
										
											规范
										 
									
										 
									
											额定输出
										 
										
											1200 W *
										 
									
										 
									
											振荡频率
										 
										
											26 kHz / 38 kHz / 78 kHz / 100 kHz / 130 kHz / 160 kHz / 200 kHz / 430 kHz / 750 kHz / 950 kHz  
									
(通过选择换能器进行更改)
										
										 
									
											振荡模式
										 
										
											PLL振荡/固定振荡/ A模式振荡/ B模式振荡
										 
									
										 
									
											电源
										 
										
											电流
										 
										
											10 A.
										 
									
										 
									
											电压
										 
										
											AC 200 V至240 V(±10%1Φ50/ 60 Hz)
										 
									
										 
									
											外部尺寸
										 
										
											430(宽)x 418(长)x 148(高)
										 
									
										 
									
											重量
										 
										
											17公斤
										 
									
										 
									
											主要功能
										 
										
											远程模式
										 
									
										 
									
											8步输出
										 
									
										 
									
											RS485通讯
										 
									
										 
									
											输出端子异常
										 
									
										 
									
											模拟输出(监控输出)
										 
									
										 
								
							
											0至5 V(标准设置)或4至20 mA(出厂时可切换)
										 
									
						隔膜功能
					
					 
						
								
						隔膜规格
					
					
								
									
						
										 
									
											规范
										 
										
											晶圆6  
										
膜片规格
										
											晶圆8  
										
隔膜规格
										
											晶圆12  
									
膜片规格
										
										 
									
											型号名称
										 
										
											型号7857S
										 
										
											型号8857S
										 
										
											98SL型
										 
									
										 
									
											允许输入
										 
										
											300 W x 4
										 
										
											300 W x 6
										 
										
											300 W x 16
										 
									
										 
									
											频率
										 
										
											950 kHz
										 
										
											950 kHz
										 
										
											750 kHz
										 
									
										 
									
											振动辐射面(mm)
										 
										
											136×163
										 
										
											165 x 215
										 
										
											275 x 319
										 
									
										 
									
											隔膜材料
										 
										
											SU 316 L
										 
										
											SU 316 L
										 
										
											SU 316 L
										 
									
										 
									
											振动的身体
										 
										
											PZT
										 
										
											PZT
										 
										
											PZT
										 
									
										 
									
											至高使用温度
										 
										
											70°C
										 
										
											70°C
										 
										
											70°C
										 
									
										 
									
											外形尺寸 
										
(宽x深x高mm)
										
											185 x 215 x 55
										 
										
											255×305×55
										 
										
											410 x 340 x 65
										 
									
										 
								
							
											安装方法
										 
										
											螺栓固定
										 
										
											螺栓固定
										 
										
											螺栓固定
										 
									
						清洗槽功能
					
					 
						
								
				







 
                             
                             
                             
                             
                            