产品名称：AITEC艾泰克 晶圆UV照射器 重庆内藤销售　MUVBA-0.4×0.6×0.2

晶圆UV照射器（UV照射波长交换型）

使用

是对半导体制造用晶片加工（切片和背面研磨）工序中使用的紫外线固化型膜照射紫外线（UV）的装置。（UV膜固化装置）
●晶圆切割带（UV膜固化装置）的固化应用。
●辐射器可以在每个波长上交换。
●小批量生产应用的理想选择。
采用氮置换（N 2**）机制减少了UV固化过程中的氧气抑制。

特点

• 用氮置换（N 2 prepurge）机制。
• 6英寸，8英寸晶圆兼容。
• 生产12英寸晶圆。
• 可交换的辐照器（365,385,395,405nm等）。
• 可调亮度从0到100％。

MUVBA - 0.4×0.6×0.2

特点

●这是一个晶圆紫外线辐射器。
●为氧抑制通过N 2吹扫机构降低UV固化
●在一个音量旋钮UV照射强度，可调节（0-100％）
●可以通过阀的流量计来控制N 2吹扫量。
●使用简单的安装结构，可轻松将紫外线辐射器更换为其他波长。

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警报指示	LED烧尽报警 LED过热报警
使用环境	温度：0至40°C，湿度：20至85％RH（无冷凝），室内设备
存储环境	温度：0至60°C，湿度：20至85％RH（无冷凝）
额定电源电压	100-240V