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株式会社SATO佐藤真空
真空泵
目前,我们有一台平面电视,包括食品产品的电子设备,如手机,医疗设备,如MRI,从真空干燥蔬菜,如即时食物,干冻,已经使用真空生产的货物我每天都用它。真空泵广泛用于大学,政府机构和参与半导体产品,空间设备,药品等开发的私营公司的实验室的先进技术开发领域。株式会社SATO佐藤真空泵
什么是真空?
“在低于大气压的压力下充满稀释气体的空间状态”。不用说,除了空间之外,它在地面上以某种方式强制排出密封的容器气体以产生低于大气压的压力状态。使用真空泵作为其手段。
无论是高于还是低于大气压,气体的状态都由温度和压力表示。压力单位的尺寸为[力/面积],在SI单位系统中[N / m 2 = Pa:Pascal] * 1为基础。以往,作为表示真空的状态的压力单元[乇=毫米汞柱]被用作表示真空的,以便与该工程利用外层空间的程度的单元,具有与工程单元共性[ Pa:Pascal]开始被使用。以工程单位,但通常在大气压状态参考[压力=零]压力显示(表压)※2,容易理解的在表1中的真空系统的优良压力显示。因为封闭的空间,无论怎么气体分子甚至通过降低压力完全没有失去了它,优良压力是更接近地到零,这几乎是不可能为零。当用表压表示时,它变得非常难以理解。
※1 1 kgf = 9.8 N(牛顿)
* 2压力容器(锅炉,气瓶)等
真空泵
到从密闭容器排出气体,如压缩机,被排放到大气中,通过从进气口(体积排气型)的旋转或往复运动,以进入的气体被压缩。然而,这是在低真空相当大(粘性流区域)的范围内的气体密度的有效的范围内,其中,在高真空中的气体密度小气体分子不彼此(分子流区域)单独地相冲突,所以气体分子有必要使用利用其他机构进行疏散的真空泵。(参见表2)它是油扩散泵或涡轮分子泵。在油扩散泵来加热油创建一个油蒸汽,从喷嘴通过吹送以高速喷射流中夹带的气体分子压缩到高真空区域。涡轮分子泵高速(3000-10000旋转)到叶轮压缩耗尽排斥气体分子到高真空区域。高真空泵,在在低真空区域中的进气口的高真空区域中的排气口,和辅助泵连接所述低真空泵如低到比大气压排气口(油旋转泵,诸如干式泵) ,*后排到大气层。 株式会社SATO佐藤真空泵
(参见真空排气单元的部分)
在这里,大学,油旋转真空泵,这是*容易在私人实验室可用的,等等,下面将要描述。
油旋转真空泵
油旋转真空泵被也被称为旋转泵,中度真空(10大气压5〜10 -1是一个泵,其可以更容易真空度达帕)的程度。很容易地使用简单的结构,因为在获得可以从大气压力泵操作大抽速度*排气效率是一个很好的形式中,长期以来被用于,已经流行。虽然高速旋转型模型*近马达直接更紧凑,在吮吸药蒸气如化学实验关系,朝低速旋转型带的情况下悬挂因为失败小,它被审查。
油旋转真空泵具有结构三种形式,转子叶片(盖德型),旋转活塞(Kinney的类型),被划分成凸轮式(闭孔类型)。如图所示,旋转叶片式变为两个滑动翼的转子,Suridotsubasa被弹簧压靠在这种情况。滚动活塞上设有上滑动的偏心转子的外周的圆筒,所述滑动板与吸入阀被安装其上。凸轮型包括偏心转子和滑动板,滑动板,根据所述转子的旋转向上和向下移动。根据转子的旋转两个进气,压缩每转进行排气,转子叶片的周期的两倍,另外执行单个排气。 株式会社SATO佐藤真空泵
而泵的能力由*终压力和排气速度来确定,*终压力的单元[PA],泵送速度显示在[L /分钟]。真空泵是用于吸入气体的泵,必须要小心,以便不混淆与抽气速度的吸入量和泵为液体抽吸(或含水量)。例如,所述容器如100L水填充,容器在5分钟时排空时水以20L /分钟的泵的水。但是,通过的抽气速度20L / min的真空泵抽空真空容器100L时,1/10大气压= 10 4解压缩到Pa大约需要11.5分钟。与液体不同,气体是可压缩的,因此容器内的气体每次耗尽时都会变稀。由于泵的该泵送速度用于抽吸相同,只是不能排风量当换算为大气压“容器压力/大气压”。在大气压下20L /分钟即真空泵,容器压力仅由不能够在大气压力下在下拉至1/10个大气压换算用尽2L /分钟。(忽略具有容积效率)。因此,气体不能够在容器中水成为空的,只有无限压力逐渐降低(密度降低),*终到达泵的压力将达成。这与液体泵有很大不同。
对于油旋转真空泵,需要称为真空泵油或旋转泵油的润滑油。此盖壳和在泵转子,在油膜其它滑动部的间隙,保持与润滑的气密性,气体从高压部分的低压部的逆流防止。油旋转真空泵,因为这样做不断压缩操作中,可冷凝与某些气体如吸入气体中的水蒸汽包含,可以保持在泵油在压缩过程中液化混合。这会导致部件腐蚀和油润滑等因素,这是导致故障的主要原因。另外,由于与油混合的液体在减压时再次蒸发,因此极限压力也变得极差。 株式会社SATO佐藤真空泵
直下式泵1400〜1800转位置的旋转速度,由于皮带挂使用带悬挂的等效电动机转矩时泵450〜700转,是2-4倍的直接耦合。因此,带式泵不太可能由于润滑不佳而遭受诸如生锈和其他异物混合和旋转失效的麻烦。而且,由于其低转速,它产生的热量更少并且具有高耐久性。因此,在非正常使用条件下使用,即使,往往选择泵套装(工作压力和吸气)和环境,避免麻烦,如果这样进行更换豆真空泵油。但是,在许多情况下,它将**作和释放,这将导致下次使用时无法操作的情况。株式会社SATO佐藤真空泵
表1压力显示
压力表 | 优良的压力 |
气体分子数 [/ L] |
|||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Pa.G | Kgf /cm².G | mmHg.G | atm ※1 | 霸 | Kgf /cm² | mmHg * 2 | |
1.013 X 10 5 | 1.033 | 760 | 2.0 | 2.026×10 5 | 2.066 | 1520 | 5.357×10 22 |
0.0 | 0.0 | 0.0 | 1.0 | 1.013 X 10 5 | 1.033 | 760 | 2.679 X 10 22 |
-1.012×10 5 | -1.032 | -759 | 1.316 X 10 -3 | 133.29 | 1.359×10 -3 | 1.0 | 3.524×10 19 |
-1.013×10 5 | -1.034 | -759.99 | 1.316×10 -5 | 1.333 | 1.359×10 -5 | 0.01 | 3.524×10 17 |
※1:1 atm = 1 atm * 2:1 mm Hg = 1 Torr
表2真空泵的类型和工作压力范围
低真空 | 中等真空 | 高真空 | 超高真空 | |
---|---|---|---|---|
压力 |
在大气压(100kPa) 至X 0.1kPa下 |
X1000Pa 至X0.1Pa |
X0.1 Pa 至X 10 -5 Pa |
X 10 -5 Pa~ |
泵类型 |
·油旋转泵
·干泵 ·隔膜泵 ·水封泵※1 |
·机械增压泵
·涡轮分子泵 |
·油扩散泵
·涡轮分子泵 ·低温泵 |
·涡轮分子泵
·低温泵 ·离子泵 |
※1水封泵的工作压力范围:大气压(100 kPa)~2.3 kPa
图:油旋转真空泵的结构和进气/排气过程
