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晶片工具制造商日本Fluoro福乐推出新品——非接触式晶圆传输伯努利卡盘

日期：2025-04-30 15:59
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摘要：非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列（导电）主体可选择20度、45度、90度，水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。 （使用角度是固定的，不改变主体就无法改变使用角度。） 由于导向挡块具有平缓的锥度，因此晶片的边缘会在一点处接触。 由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸附状态。 主体采用导电尼龙树脂，实现了轻量化。 它可以处理双面印刷有图案的晶圆，以及难以处理的薄至 50μm 的晶圆。 我们还支持与目标对象相匹配的定制设计产品，例如方形。

伯努利查克利用伯努利原理，通过喷出空气，产生更强大的吸力。输送物与伯努卡盘的表面端点接触，不旋转，并且可以在非接触状态下以稳定的保持力输送晶片中心。为了用一个本体部对应各晶片尺寸而设计。

导向制动器和晶片点接触

引导环白色销将晶片放置在4个位置的内侧，然后按下启动按钮，晶片将悬浮并靠近中心。然后，用黑角销固定，可进行非接触式输送。

特长

●持手的使用角度20度，45度，从90度的3点主体部能选择。（使用角度为固定角度，使用角度的改变只有通过改变机身部分才能改变）

●导轨制动器有一个平缓的锥度，因此晶圆边缘点接触。

●抗静电聚碳酸酯使用的引导环，通过目视的定位和吸力状态的确认能。

●由于主体部导电性尼龙树脂的采用谋求了轻量化。

●双面都有图案印刷，50 μ m的薄能对应处理困难的晶圆。

●也对应为角型等对象物量身定做的设计品。

●开关可以选择按钮或拉杆。

产品简介

◆请从使用角度20度，45度，90度的3点选择主体部。（见下文图片）


日本福乐Fluoro重庆销售中心-重庆内藤naitokikai

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